주요가스

특수가스

반도체용 특수가스
초고순도 순수가스
기타 특수가스
표준가스
혼합가스
메탈 유기화합물

 
반도체용 특수가스

반도체용 특수가스는 반도체 제조 및 연구용, TFT-LCD 제조용으로 사용되는 반도체용 특수가스는 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다.

용도

  • 반도체 제조
  • 반도체 제조 연구

종류

  • Sih4

  • Sih2Cl2

  • Si2H6

  • AsH3

  • B2H6

  • Cl2

  • BCl3

  • BF3

  • PH3

  • WF6

  • N2O

  • NH3

  • CF4

  • CO

  • C4F8

  • HCl

  • SiCl4

  • SF6

  • NF3

 
초고순도 순수가스

초고순도 순수가스는 반도체 산업, 석유화학, 금속 공업 등의 실험, 연구 및 생산용으로 사용되며
첨단 정제 및 충전설비를 통하여 제조되어 수요처에 적기에 공급되고 있습니다.

용도

  • 각종 분석기
  • 반도체 산업
  • 전구 봉입용
  • 석유화학
  • 금속의 분광 분석기

종류

  • N2: 99.9999%

  • O2: 99.995% , 99.9999%

  • Ar: 99.9999%

  • H2: 99.9999%

  • He: 99.9999%

  • CO2: 99.999%

 
기타 특수가스

용도

  • SF6 (육불화황)

  • CH4 (메탄)

  • HCI

  • Kr,Ne,Xe

전기절연용 등

연소용, 연소기기시험용, 금속열처리용, 화학제품원료

제약합성 등

특수전구용

 
표준가스

표준가스는 각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되는 표준가스는 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다.

용도

  • 대기오염 측정
  • 연소 실험
  • 자동차 배기가스 측정
  • 석유화학제조공정 감시용 분석기
  • 각종 분석기용 표준가스

종류

  • CO-N2-CO2

  • C3H8-N2

  • P-I-A-N-O

  • CH4-N2-O2

  • C2H4-N2

  • H2S-N2

  • He-N2

  • H2-Ar

  • H2-N2

  • Others

  • CO-N2-O2

  • He-H2

  • C3H8-N2-O2

  • CH4-Ar

 
혼합가스

혼합가스는 레이저, 식품, 용접, 의료, 조명, 해저탐사, PDP 등 각 사업분야에서 다양하게 사용되는 혼합가스는
필요한 농도로 혼합된 2가지 이상의 고순도 가스로 이루어집니다.

용도

  • 레이저 발진
  • 특수용접
  • 의료
  • 식품포장
  • 조명
  • 호흡
  • 방사능 측정
  • PDP TV

종류

  • H2-N2-CO2

  • N2-CO-CO2

  • CH4-N2-H2

  • Xe-He-Ne

  • NO-N2

  • He-Ar

  • CH4-Ar

  • He-N2-CO2-CO

  • O2-CO2-N2

  • H2-N2

 
메탈 유기화합물

Metal Organic Compoinds

용도

  • LED (Light Emitting Diode)
  • LD (Laser Diode)
  • Solar Battery
  • HEMT (High Electron Mobility Transistor)
  • IC
  • FET(Field Effect Transistor)
  • Hall Device
  • Al Metalization

종류

  • TMG-Ga(CH3)3

  • TEA-AI(C2H5)3

  • DeZn-Zn(C2H5)3

  • G-Ga(C2H5)3)

  • TMIn-In(CH3)3

  • DMZn-Zn(CH3)3

  • TMA-AI(CH3)3

  • TEIn-In(C2H5)3